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三氟化氮檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)特點(diǎn)與功能

更新時(shí)間:2024-04-15      點(diǎn)擊次數(shù):337
  三氟化氮檢測(cè)儀是一種用于監(jiān)測(cè)三氟化氮(NF3)氣體濃度的儀器,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、光纖和光伏電池等行業(yè)。在這些行業(yè)中,三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑使用。檢測(cè)儀能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)空氣中的三氟化氮濃度及泄漏狀況,確保工作環(huán)境的安全。
  三氟化氮檢測(cè)儀設(shè)計(jì)特點(diǎn):
  1.工業(yè)級(jí)標(biāo)準(zhǔn):檢測(cè)儀是按照工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)生產(chǎn)的,這意味著它具備高可靠性和穩(wěn)定性,適合在各種工業(yè)環(huán)境中使用。
  2.防爆設(shè)計(jì):該檢測(cè)儀具有防爆特性,獲得了國(guó)家防爆電氣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢測(cè)中心頒發(fā)的防爆合格證,確保在潛在爆炸性環(huán)境中的安全使用。
  3.智能模塊化傳感器:采用智能模塊化傳感器設(shè)計(jì),即插即用,自動(dòng)識(shí)別。這種設(shè)計(jì)允許通過(guò)更換不同的傳感器來(lái)檢測(cè)多種氣體,提高了儀器的靈活性和經(jīng)濟(jì)性。
  4.內(nèi)置進(jìn)口傳感器:配備高精度的進(jìn)口傳感器,確保了檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
  三氟化氮檢測(cè)儀功能:
  1.在線監(jiān)測(cè):能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)三氟化氮(NF3)氣體的濃度,及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在的危險(xiǎn)或泄漏情況。
  2.報(bào)警功能:當(dāng)檢測(cè)到三氟化氮?dú)怏w超過(guò)預(yù)設(shè)的安全閾值時(shí),儀器會(huì)發(fā)出報(bào)警,提醒操作人員采取相應(yīng)的安全措施。
  3.多用途:適用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等行業(yè),在這些行業(yè)中,三氟化氮通常作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑使用。

三氟化氮檢測(cè)儀

 

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